硅锭中的氧分析SiBrickScan

日期：2025-08-11

仪器简介:

SiBrickScan(SBS)是一款专门用于定量分析硅锭的氧隙原子从而得出浓度分布的傅立叶红外谱仪系统。其优点是节约成本，能够在不锯切晶片或样品的情况下获取分析结果。SBS能够达到<2ppma的分析度，适用于不同形状和尺寸的单晶或多晶硅锭。